用途:该设备用于带框生瓷片冲腔工艺,具有自动上下料、自动定位,自动冲切等功能,满足LTCC、HTCC中冲切工艺需求。
TIME: 2024-12-12随着半导体行业发展,砷化镓、磷化铟等二代半导体化合物材料、氮化镓、碳化硅等三代宽禁带半导体材料,对于湿化学清洗工艺提出了新要求。在配置传统独立湿处理工艺槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry)的基础上,新材料清洗设备按照客户工艺菜单进行优化设置,配液精度、配液种类、清洗方式方面进行设计提升,同时保持与行业厂商、学校研究院所的积极联合探索和设备定制。
TIME: 2024-10-11有不同的独立湿处理工艺槽、按照客户工艺菜单的设置,机械手在各工艺槽中进行相应的工艺处理。适合用于基片批量的腐蚀/去胶/显影/清洗等工艺.
TIME: 2024-10-11自动供液系统可以通过VMB给多台设备进行供液。具有过滤、循环功能,根据用户要求配备双组或者多组过滤、循环系统;当其中一个桶内的液体用完时,能够自动进行双桶切换并且提示用户。同时还具备化学液的取样检测功能。
TIME: 2024-10-11该设备用于 LTCC、HTCC 和 MLCC 的加压作业,最 大压力80MPa,最大直径600,最小230
TIME: 2024-10-11全自动叠层机是用于生瓷片叠片的设备,具备自动上下料、自动切片、自动撕膜、自动对位、真空叠压等功能,广泛应用于LTCC、HTCC、MLCC等领域。
TIME: 2024-10-12自动晶棒清洗机是半导体、光伏等行业中用于清洗晶棒的重要设备,其特点主要包括以下几个方面: 1.自动化程度高:可实现晶棒上料、清洗、下料等一系列操作的自动化运行,无需人工过多干预。设备能够按照预设的程序和参数,正确控制清洗过程中的各个环节,如清洗液的流量、清洗时间、旋转速度等,大大提高了清洗效率,减少了人工操作带来的误差和不确定性。
全自动叠层机是一种能自动完成物料叠放、层压等操作的自动化设备,可应用于多个领域,以下是具体介绍: 1.功能特点 自动化操作:能按照预设程序,自动完成上料、取料、叠放、层压等一系列操作,无需人工频繁干预,提高了生产效率,降低了人工成本。
有机清洗机在半导体领域主要用于去除半导体晶圆、芯片制造过程中的各类有机污染物等,以下是其具体应用: 1.光刻胶去除 在半导体制造的光刻工艺中,光刻胶被广泛用于定义芯片的电路图案。光刻完成后,需要使用有机清洗机去除未曝光或不需要的光刻胶。有机清洗机中的有机溶剂可以与光刻胶发生溶解或化学反应,使光刻胶从晶圆表面脱落,然后通过冲洗和干燥等步骤,确保晶圆表面干净,为后续工艺做好准备。例如,使用 N - 甲基吡咯烷酮(NMP)等有机溶剂的有机清洗机,能够高效地去除各种类型的光刻胶,包括正性光刻胶和负性光刻胶。