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不同的独立湿处理工艺槽（SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry），按照客户工艺菜单的设置，机械手在各工艺槽中进行相应的工艺处理。适用于单、双盒硅片的湿法清洗。设备集成基于SNA专利技术，用于硅片取干的IPA Dry模块

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