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全自动清洗设备

  • 产品时间:2021-06-02 13:57
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简要描述:不同的独立湿处理工艺槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry),按照客户工艺菜单的设置,机械手在各工艺槽中进行相应的工艺处理。适用于单、双盒硅片的湿法清洗。设备集成基于SNA专利技术...

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不同的独立湿处理工艺槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry),按照客户工艺菜单的设置,机械手在各工艺槽中进行相应的工艺处理。适用于单、双盒硅片的湿法清洗。设备集成基于SNA专利技术,用于硅片取干的IPA Dry模块

 


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