此设备主要用于生长6英寸N型及半绝缘碳化硅单晶。碳化硅单晶具有高热导率、 高化学稳定性、低热膨胀、高饱和电子漂移率等优点,在白光高效照明、电力输送与 转换、耐高压电力电子器件等民用领域应用广泛,同时在雷达通讯、舰船等军事领域可提高军事电子系统和武器装备的性能,有着明确应用背景。