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太阳能电池片,高纯单/多晶硅湿处理设备与工艺低客户拥有价值特点
Solar cell substrates ,Mono/Poly Silicon wet process system and COO
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全球基片湿处理IPA取干比较
Globe Substrate Wet Process IPA Dryer Comparison
        
         异丙醇IPA高温雾化                   异丙醇IPA超声雾化
      
       N2吹入异丙醇IPA雾化                   
        SNA加热气体雾化异丙醇IPA
SNA集成电路/太阳能电池/屏板显示基片湿处理技术特性
SNA IC/Solar Cell/FPD Substrate Wet Process Typical Specification
  1.在处理方式方面:
  在处理方式上,思恩公司(以下称为SNA)使用的是具有一定压力的经加热的多种化学气体;传统雾化处理所使用的是空气、氮气或者超声振子。其中的具体区别是:SNA所使用的是非常简单的化学处理装置,并且灵活性强、渗透性大,可以渗透到极微小(0.18μm以下)的集成电路线路排列中;传统雾化处理(特别是超声振子)中的压力作用几乎为零,所以其产生的雾化效果传送不到相应的工艺处理管路。
2.在处理结果方面:
  SNA采用的雾状化学处理具有美国专利认证(美国专利号码为US6,200,387 BI)和中国专利(中国专利号码为ZL 03 1 29647.5),其雾化产生器能够产生毫微米级的极小雾状颗粒;而传统雾状化学处理产生的雾状颗粒却比其大的多。
3.在化学剂用量方面:
  由于集成电路清洗行业中高纯度的化学液价格非常昂贵,SNA具有专利的雾化处理所需的化学液用量极小,随之,去离子水的冲洗水用量也就非常少。又因为在集成电路行业中高电阻率(18MΩ)去离子水也非常昂贵,而且30%的清洗过程中都需要使用去离子水,所以SNA的雾化处理器可以大大节约化学剂成本;相比较而言,传统雾化处理的化学剂用量就比较多,化学剂成本约是SNA公司的5倍以上。
4.在机械结构方面:
  SNA使用的雾状化学处理器结构简单,没有运动组件,所以使用寿命极长,且维修非常方便;相对于传统雾化处理而言:(1)在传统旋转体雾化处理中,其机械装置结构复杂,所以易坏且维修难度大。(2)在传统超声振子雾化处理中,由于其产生过程中需用电驱动,所以隐藏着安全隐患和复杂电路支持等问题,由此会增加机器故障率并发生维修困难等问题。
     
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